S-340 压电偏摆台

分辨率高达20纳弧度，优异的位置稳定性

用于直径长达75 毫米（3英寸）的反射镜；根据要求直径可达100 毫米（4英寸）

S-340，尺寸单位为毫米。符合DIN ISO 2768-f-H的通用公差适用于所有非容许尺寸。

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。

θ X、θ Y 向上-20至+120伏时的开环偏摆角

θ X、θ Y 向上的空载谐振频率

θ X、θ Y 向上带负载时的谐振频率（带玻璃反射镜，直径50毫米，厚度15毫米）

θ X、θ Y 向上带负载时的谐振频率（带玻璃反射镜，直径75毫米，厚度22毫米）

ASD版本：Sub-D 25针（公头）

利用多层促动器的制造工艺实现高度可靠的和更长的使用寿命

来自PI的柔性铰链导向已经证明了其在纳米定位领域的价值。它导向压电陶瓷促动器，并确保无偏摆或侧向偏差的直线运动。

在多轴并联系统中，所有促动器直接作用于单一运动平台。