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精密测量和制程控制坐标测量机、测头、软件及改造机床测头与软件机器校准与优化智能制造数据平台Equator™比对仪测量专用组合与定制夹具测量专用精密测针。位置和运动控制开放式光栅封闭式光栅激光尺磁编码器
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| 光纤长度 | 3 m或6 m* |
|---|---|
| 轴数 | 单轴或双轴* |
| 激光源 | 2类氦氖 (HeNe) 激光 |
| 输出 | 模拟 / 数字正交 |
| 速度 | 最高达2 m/s** |
| 激光稳频精度(1分钟) | ‹±10 ppb |
| 激光稳频精度(1小时) | ‹±50 ppb |
| 激光稳频精度(8小时) | ‹±50 ppb |
| 真空波长稳定性(超过3年) | ±0.1 ppm |
| 光纤长度 | 仅3 m* |
| 输出 | 模拟 / 数字 |
| 激光稳频精度(1分钟) | ‹±1 ppb |
| 激光稳频精度(1小时) | ‹±2 ppb |
| 激光稳频精度(8小时) | ‹±20 ppb |
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