ALD Real Time Monitor
ALD实时监测仪的优势 工艺开发与优化 使用单一ALD循环可快速和简易地开发和优化ALD工艺。ALD实时监测仪显示了高达40ms分辨率的吸附和解吸过程。显著节省了研发时间,衬底,前驱体和气体。节省前驱体 通过ALD实时监测仪,ALD工艺变得更加有效。节省了前驱体和工艺时间。前驱体控制 当前驱体供应快要用尽时,ALD实时监测仪会立即检测到的每个周期的增长...
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| 型号 | ALD Real Time Monitor |
|---|---|
| 产品分类 | / 等离子工艺设备 / 原子层沉积 / ALD实时监测仪RTM ALD Real Time Monitor |
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