Sonix AutoWafer 自动超声晶圆扫描仪
AutoWafer
AutoWafer 是用于研发和生产环境的无损超声晶圆扫描仪，可检测 MEMS、CMOS、memory、TSV 和 LED 等晶圆应用中的键合缺陷。
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说明
产品说明
AutoWafer 是用于研发和生产环境的无损超声晶圆扫描仪，可检测 MEMS、CMOS、memory、TSV 和 LED 等晶圆应用中的键合缺陷。
- 支持 100mm 至 200mm 晶圆，并可在单批次中处理多种尺寸。
- 机器人 cassette handling 和合格/不合格晶圆分拣有助于加快生产。
- 设备配合高级 transducers 和 auto-analysis tools，用于识别细微缺陷。
规格参数
| 品牌 | Sonix |
|---|---|
| 型号 | AutoWafer |
| 产品类型 | Ultrasonic Wafer Scanner |
| 晶圆尺寸 | 100mm-200mm |
规格
| 型号 | AutoWafer |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | 100mm-200mm |
FAQ
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