电容压力计 Model:CCMT-1D
CCMT-1D
关于Model:CCMT-1D的介绍、购买、商讨。用于真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监控。用于太阳能电池等各种制造设备的压力监控
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说明
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电容压力计
Model:CCMT-1D
不受气体类型影响的高精度真空测量
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长期稳定
使用陶瓷膜，具有优异的耐腐蚀性
内置式温度补偿回路
采用新结构保护传感器免受污垢
可以通过按钮进行零点调整
用于成膜设备工艺中的压力监控
用于真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监控
用于太阳能电池等各种制造设备的压力监控
*1: Non-linearity,hysteresis,repeatability at 25℃ (77℉) ambient operating temperature without tenperature effects after 2 hours operation, after zero sdjustment *2: 28% Ni, 23% Co, 49% Fe *3: 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
规格
| 型号 | CCMT-1D |
|---|---|
| 产品分类 | 电容压力计 |
| 型号 | CCMT-D |
| Range full scale | CCMT-1000D / 133kPa (1×10 3 Torr, 1.33×10 3 mbar) F.S. |
| CCMT-100D | 13.3kPa (1×10 2 Torr, 1.33×10 2 mbar) F.S. |
| CCMT-10D | 1.33kPa (10 Torr, 13.3 mbar) F.S. |
| CCMT-1D | 133Pa (1 Torr, 1.33 mbar) F.S. |
| Resolution | 0.003% of full scale |
| Accuracy *1 | ±0.2％±temperature coefficient relative to display value (The value indicates accuracy zero point adjustment) |
| Temperature coefficient | Zero voltage / 0.015 % F.S. / ℃ |
| Span voltage | 0.01% R / ℃ |
| Operating temperature range | 10 to 50 ℃ (50 to 122 ℉ ) |
| Response rate | 30ms or less |
| Material of gas contacting sections | Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3 , glass ceramics solder, Ag Ti Cu hard solder |
| Input power | DC14～30V, 1W |
| Output | DC 0 to 10V F.S. |
| 重量 | 329g |
| 尺寸 | 55mm×117mm |
| Temperature compensation | Internal temperature compensation circuit |
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