低温泵 Model:CRYO-U10HSP
CRYO-U10HSP
关于Model:CRYO-U10HSP的介绍、购买、商讨。氩气容量是现有型号（U10H）的2倍。* 维护周期：16,000小时 *移动托盘可选
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说明
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真空泵(高真空)
Model:CRYO-U10HSP
ULVAC CRYOGENICS
关于Model:CRYO-U10HSP的介绍、购买、商讨
最适合溅射应用。
氩气容量是现有型号（U10H）的2倍。
再生时间间隔延长意味着更高的可用性。
可以进行多个连接（最多3个）。
标准规格
* 维护周期：16,000小时 *移动托盘可选
外观尺寸 (单位:mm)
规格
| 型号 | CRYO-U10HSP |
|---|---|
| 产品分类 | 低温泵 |
| 排气速度(20℃) | 氮 / L/s / 2,400 |
| 氢 | 3,600 |
| 氩 | 2,000 |
| 水 | 6,900 |
| 极限压力 | Pa(Torr) / 10 -7 (10 -9 ) |
| 最大流量 | 氩 / Pa・L/s(Torr・L/s) / 1.30×10 3 (9.8) |
| 排气容量 | 氩 / Pa・L(Torr・L) / 2.0×10 8 (1.5×10 6 ) |
| 氢 | 1.2×10 6 (9.0×10 3 ) |
| 冷却下降時間 (动力循环) | min(Hz) / 120/110(50/60) |
| 吸气口法兰 | UVG-250,10 B ANSI |
| 压缩机组 | C15R |
| 重量 | Kg / 36.0 |
FAQ
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