低温泵 Model:CRYO-U12H
CRYO-U12H
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说明
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真空泵(高真空)
Model:CRYO-U12H
ULVAC CRYOGENICS
关于Model:CRYO-U12H的介绍、购买、商讨
特别适用于中，大型规模的生产装置。
热负荷性能强，可适用于多种工艺。
标准规格
* 维护周期：16,000小时 * 移动托盘可选
外形尺寸 (单位:mm)
规格
| 型号 | CRYO-U12H |
|---|---|
| 产品分类 | 低温泵 |
| 排气速度(20℃) | 氮 / L/s / 4,000 |
| 氢 | 6,000 |
| 氩 | 3,300 |
| 水 | 9,500 |
| 极限压力 | Pa(Torr) / 10 -7 (10 -9 ) |
| 最大流量 | 氩 / Pa・L/s(Torr・L/s) / 2.0×10 3 (15) |
| 排气容量 | 氩 / Pa・L(Torr・L) / 2.1×10 8 (1.6×10 6 ) |
| 氢 | 9.8×10 5 (7.4×10 3 ) |
| 冷却下降时间 (动力循环) | min(Hz) / 85/75(50/60) |
| 吸气口法兰 | UVG-300,10 B ANSI |
| 压缩机组 | C30VRT |
| 重量 | Kg / 40.0 |
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