CRYO-U20P
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真空泵(高真空)
Model:CRYO-U20P
ULVAC CRYOGENICS
关于Model:CRYO-U20P的介绍、购买、商讨
特别适用于大型成膜生产设备。
特别适用于批量型大型成膜设备。
标准规格
* 维护周期:16,000小时
外形尺寸 (单位:mm)
| 型号 | CRYO-U20P |
|---|---|
| 产品分类 | 低温泵 |
| 排气速度(20℃) | 氮 / L/s / 10,000 |
| 氢 | 18,000 |
| 氩 | 8,400 |
| 水 | 29,000 |
| 极限压力 | Pa(Torr) / 10 -7 (10 -9 ) |
| 最大流量 | 氩 / Pa・L/s(Torr・L/s) / 1.1×10 3 (8.7) |
| 排气容量 | 氩 / Pa・L(Torr・L) / 5.8×10 8 (4.4×10 6 ) |
| 氢 | 4.6×10 6 (3.4×10 4 ) |
| 冷却下降时间 (动力循环) | min(Hz) / 180/160(50/60) |
| 吸气口法兰 | UVG-500 |
| 压缩机组 | C30VRT |
| 重量 | Kg / 69.0 |
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