CRYO-U30H
日本語 English 中文。真空泵(高真空)。Model:CRYO-U30H。ULVAC CRYOGENICS。关于Model:CRYO-U30H的介绍、购买、商讨。特别适用于大型成膜设备,真空腔室等。水的排气速度最高。标准规格。* 维护周期:16,000小时 U22H,U30H fall under category of export
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真空泵(高真空)
Model:CRYO-U30H
ULVAC CRYOGENICS
关于Model:CRYO-U30H的介绍、购买、商讨
特别适用于大型成膜设备,真空腔室等。
水的排气速度最高。
标准规格
* 维护周期:16,000小时 U22H,U30H fall under category of export contol products Corresponds to export control product suach as strategic time Please take nessecary procedure for Export permisson from Japan goverment
外形尺寸 (单位:mm)
| 型号 | CRYO-U30H |
|---|---|
| 产品分类 | 低温泵 |
| 排气速度(20℃) | 氮 / L/s / 28,000 |
| 氢 | 43,000 |
| 氩 | 23,000 |
| 水 | 70,000 |
| 极限压力 | Pa(Torr) / 10 -7 (10 -9 ) |
| 最大流量 | 氩 / Pa・L/s(Torr・L/s) / 2.7×10 3 (20) |
| 排气容量 | 氩 / Pa・L(Torr・L) / 7.8×10 8 (5.9×10 6 ) |
| 氢 | 1.5×10 7 (1.1×10 5 ) |
| 冷却下降时间 (动力循环) | min(Hz) / 240/200(50/60) |
| 吸气口法兰 | VG-750 |
| 压缩机组 | C30VRT×2 |
| 重量 | Kg / 175.0 |
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