低温泵 Model:CRYO-U4H
CRYO-U4H
关于Model:CRYO-U4H的介绍、购买、商讨。最大发挥了4-inch低温泵的排气特性。高排气速度有助于提高排气效率和生产率。特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺
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说明
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真空泵(高真空)
Model:CRYO-U4H
ULVAC CRYOGENICS
关于Model:CRYO-U4H的介绍、购买、商讨
最大发挥了4-inch低温泵的排气特性。
高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
1台压缩机最多可以运行四台泵。
可以根据您的应用进行设计和制造。
标准规格
外形尺寸 (单位:mm)
规格
| 型号 | CRYO-U4H |
|---|---|
| 产品分类 | 低温泵 |
| 排气速度(20℃) | 氮 / L/s / 450 |
| 氢 | 500 |
| 氩 | 370 |
| 水 | 1,100 |
| 极限压力 | Pa / 10 -7 |
| 最大流量 | 氩 / Pa・L/s / 1.3×10 3 |
| 排气容量 | 氩 / Pa・L / 1.0×10 7 |
| 氢 | 1.5×10 5 |
| 冷却下降时间 | min(50/60Hz) / 45/50 |
| 重量 | Kg / 14.5 |
FAQ
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