涡旋式干泵 两阶段 Model:DIS-501
DIS-501
关于Model:DIS-501的介绍、购买、商讨。内置自动复位型热保护器（单相用）安全设计。DIS-501（Single phase）。DIS-501（Three phase）
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说明
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真空泵(低・中真空)
涡旋式干泵
Model:DIS-501
关于Model:DIS-501的介绍、购买、商讨
结构紧凑，排气量大。
干式真空泵的最高压力水平。
内置自动复位型热保护器（单相用）安全设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。
分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺
对应标准/电压
使用上的注意
DIS-501（Single phase）
DIS-501（Three phase）
排气速度曲线
规格
| 型号 | DIS-501 |
|---|---|
| 产品分类 | 涡旋式干泵 两阶段 |
| Unit | 50Hz / 60Hz |
| 设计排气速度度 ※1 | L/min / 500 / 600 |
| 极限压力 | Pa / 1 |
| 使用电动机 ※2 | 单相 / 100/115/200/230V, 600W, 4P , 电容器启动・運転 |
| 三相 | 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P |
| 全负荷电流 | 单相 / A / 8.5/4.3/3.9 / 10.0/8.6/4.8/4.0 |
| (100/200/230V) | (100/115/200/230V) |
| 三相 | 2.7/1.57/1.57/1.63 / 2.8/2.6/2.5/1.47 |
| (200/380/400/415V) | (200/208/230/460V) |
| 重量 | 单相 / kg / 44 |
| 三相 | 38 |
| 吸气口径 | KF-40 |
| 排气口径 | KF-25 |
| 使用环境温度范围 | ℃ / 5～40 |
| 水蒸气处理量 | g/day / ≦25以下（AF开时 ※3 , 室温25℃, 湿度60％以下） |
| 噪音水平 | 单相 / dB / ≦62（AF開時 ※3 , ≦70） |
| 三相 | ≦60（AF開時 ※3 , ≦68） |
| 最大尺寸 | 单相 / mm / 290(W)×443(L)×397(H) |
| 三相 | 292(W)×372(L)×397(H) |
| 型号 | 认证标准 ※ / ＣＥ自我宣言 / 1Φ 100V系 / 1Φ 200V系 / 3Φ 200V系 / 3Φ 400V系 |
| DIS-501 | cTUV / ● / ● （可以通过更换端子板切换） / ● （可以通过更换端子板切换） |
| １ | 粉末和生成物吸入会导致泵损坏。请使用吸气阱。 |
| ２ | 吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。 |
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