DIS-90
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真空泵(低・中真空)
涡旋式干泵
Model:DIS-90
关于Model:DIS-90的介绍、购买、商讨
结构紧凑,排气量大。
干式真空泵的最高压力水平。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。
分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺
对应标准/电压
使用上的注意
排气速度曲线
| 型号 | DIS-90 |
|---|---|
| 产品分类 | 涡旋式干泵 两阶段 |
| Unit | 50Hz / 60Hz |
| 设计排气速度度 ※1 | L/min / 90 / 108 |
| 极限压力 | Pa (kPa) / 5 |
| 使用电动机 ※2 | 单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転 |
| 全负荷电流 | A / 2.6/1.3/1.6 / 2.1/2.2/1.1/1.1 |
| (100/200/230V) | (100/115/200/230V) |
| 重量 | kg / 14 |
| 吸气口径 | KF-25 |
| 排气口径 | KF-16 |
| 使用环境温度范围 | ℃ / 5~40 |
| 水蒸气处理量 | g/day / ≦5 以下 (AF開時 ※3 , 室温25℃, 湿度60%以下) |
| 噪音水平 | dB / ≦52 (AF開時 ※3 , ≦57) |
| 最大尺寸 | mm / 214(W)×308(L)×225(H) |
| 型号 | 认证标准 ※ / CE自我宣言 / 1Φ 100V系 / 1Φ 200V系 / 3Φ 200V系 / 3Φ 400V系 |
| DIS-90 | cTUV / ● / ● (可以通过更换端子板切换) / - / - |
| 1 | 粉末和生成物吸入会导致泵损坏。请使用吸气阱。 |
| 2 | 吸入有害气体如爆炸性气体,易燃气体,有毒气体,腐蚀性气体,有机溶剂气体等,可能会因气体本身,爆炸或火灾而导致泵故障。 |
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