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涡旋式干泵 两阶段 Model:DIS-90

DIS-90

日本語 English 中文。真空泵(低・中真空)。涡旋式干泵。Model:DIS-90。关于Model:DIS-90的介绍、购买、商讨。结构紧凑,排气量大。干式真空泵的最高压力水平。内置自动复位型热保护器等安全设计。通过空气冲洗抑制水分凝结。分析设备。气体回收系统。涂装设备。TMP的背泵。氦气检漏仪。半导体制造工艺。对应标准/

品牌: ULVAC价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 ULVAC DIS-90 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持,价格面议。

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涡旋式干泵 两阶段 Model:DIS-90
说明规格FAQ

说明

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真空泵(低・中真空)

涡旋式干泵

Model:DIS-90

关于Model:DIS-90的介绍、购买、商讨

结构紧凑,排气量大。

干式真空泵的最高压力水平。

内置自动复位型热保护器等安全设计。

通过空气冲洗抑制水分凝结。

分析设备

气体回收系统

涂装设备

TMP的背泵

氦气检漏仪

半导体制造工艺

对应标准/电压

使用上的注意

排气速度曲线

规格

型号DIS-90
产品分类涡旋式干泵 两阶段
Unit50Hz / 60Hz
设计排气速度度 ※1L/min / 90 / 108
极限压力Pa (kPa) / 5
使用电动机 ※2单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転
全负荷电流A / 2.6/1.3/1.6 / 2.1/2.2/1.1/1.1
(100/200/230V)(100/115/200/230V)
重量kg / 14
吸气口径KF-25
排气口径KF-16
使用环境温度范围℃ / 5~40
水蒸气处理量g/day / ≦5 以下 (AF開時 ※3 , 室温25℃, 湿度60%以下)
噪音水平dB / ≦52 (AF開時 ※3 , ≦57)
最大尺寸mm / 214(W)×308(L)×225(H)
型号认证标准 ※ / CE自我宣言 / 1Φ 100V系 / 1Φ 200V系 / 3Φ 200V系 / 3Φ 400V系
DIS-90cTUV / ● / ● (可以通过更换端子板切换) / - / -
1粉末和生成物吸入会导致泵损坏。请使用吸气阱。
2吸入有害气体如爆炸性气体,易燃气体,有毒气体,腐蚀性气体,有机溶剂气体等,可能会因气体本身,爆炸或火灾而导致泵故障。

FAQ

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