多级罗茨型干泵 Model:ECO-SHOCK
ECO-SHOCK
关于Model:ECO-SHOCK的介绍、购买、商讨。对节能的贡献 干泵的耗电量最大可减少80%（与本公司产品相比）。此外，还有抑制干泵发热作用，降低空调设备的电力消耗
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说明
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真空泵(低・中真空)
多级罗茨型干泵
Model:ECO-SHOCK
关于Model:ECO-SHOCK的介绍、购买、商讨
对节能的贡献 干泵的耗电量最大可减少80%（与本公司产品相比）。此外，还有抑制干泵发热作用，降低空调设备的电力消耗。*不能用作抽排易燃、助燃、有毒性气体等的泵。
干泵的性能改进有望提高极限压力性能 可降低排气噪音 所有压力范围内，排气速度均不会下降 在1000Pa以下连续运转时间较长的用途下有非常好的效果 *可安装在即使排气口为真空也毫无问题的干泵上。
安装简单
用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵 溅射设备等的loading/unloading室用的干泵
*1 电源频率60Hz *2 密封气体5SLM *3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗 *4 300L腔室反复排气60秒节拍的测量示例。
*1 电源频率60Hz *2 功耗为极限压力时的代表值 *3 包括ECO-SHOCK的功耗 *4 密封气体、吹扫气体流量0Pa・m3/s时。取决于密封气体、吹扫气体流量
阀门单元 尺寸图
ES4A NW40
ES4A NW50
ES10
规格
| 型号 | ECO-SHOCK |
|---|---|
| 产品分类 | 多级罗茨型干泵 |
| 型式 | ES10 / ES4A |
| 电源 | 规格 / 单相 AC100～220V 50/60Hz / 单相 AC200～220V±5% 50/60Hz |
| 最大功耗 | 65W *1 / 400W |
| 控制 | 输入 / 远程启动/停止（接点 DC24V有電圧） 接点容量2.0A以上请准备无电源接点 *2 |
| 输出 | 过电流报警输出(接点 无电圧) 接点容量：DC24V 1.0A / 启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 |
| 显示 | 运作时间显示 / 运作时间、启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 |
| 外观尺寸 | 本体单元 / 175mm×310mm×240mm / 250mmx475mmx373mm |
| 阀单元 | Φ66mm×110mm(NW40) *3 / 选项 |
| 质量 | 本体单元：8.3kg 阀单元：800g / 32kg |
| 质量 | G1/4" (INLET、OUTLET) 已安装连接器 / Φ16mm管接头( 推荐管的长度为1.5m以内) |
| 弊社泵型号 | LR1800 / LR3601-R |
| 排气速度 *1 | 罗茨泵 / 1784m3/hr（29700L/min） / 3200m3/hr(53333L/min） |
| 干泵 | 237m3/hr（3950L/min） / 440m3/hr(7333L/min） |
| 平均功耗 *2,3 | 极限压力运作时 / 没有 / 6.0kW / 7.8kW |
| ES4A安装时 | 2.7kW / 3.2kW |
| 消减率 | 55% / 59% |
| 反复排气时 *4 | 没有 / 7.2kW / 9.6kW |
| ES4A安装时 | 5.7kW / 6.3kW |
| 消减率 | 21% / 34% |
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