多级罗茨型干泵 Model:GR
GR
关于Model:GR的介绍、购买、商讨。可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业
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说明
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真空泵(低・中真空)
多级罗茨型干泵
Model:GR
关于Model:GR的介绍、购买、商讨
GR60
GR90
GR180
可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。
适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。
感应电机可通用
可以安装防爆电机等特殊电机（可选）
采用多电压兼容电机
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
各种成膜设备放入取出室的真空排气
真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业
真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充
*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。*2 不结露。*3 通过调节器调节压力计值。*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。
排气速度曲线
GR90A
规格
| 型号 | GR |
|---|---|
| 产品分类 | 多级罗茨型干泵 |
| 型号 | GR60A / GR90A / GR180A |
| 最大排气速度 | 50Hz / m 3 /h(L/min) / 62(1030) / 112(1860) / 183(3100) |
| 60Hz | m 3 /h(L/min) / 80(1333) / 126(2100) / 237(3850) |
| 极限压力 *1 | Pa / 5.0 |
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 |
| 最大排气口压力（排出圧力） | Pa / 1.0 ~ 大气压 |
| 吸气口 | VG50 / VG80 |
| 排气口 | NW40 |
| DRP表面处理 | 〇 |
| 电机 | 输出 [kW] / 2.2 / 3.7 / 7.5 |
| 电压 [V] | 50Hz / 200~240/380~415 |
| 60Hz | 200~240/380~460 |
| 质量 | kg / 128 / 188 / 268 |
| 冷却方式 | 冷却水 一次供给压力 / MPa / 0.1~0.3 |
| 冷却水 出入口压差 | MPa / >0.1 |
| 冷却水温度 | ℃ / 10~30 *2 |
| 冷却水流量 | L/min / >5.0 |
| 氮气 | 一次侧 供给圧力 / MPa / 0.1~0.5 |
| 二次侧 调整圧力 *3 | MPa / 0.05 to 0.1 (运作时) |
| 轴 | SLM / 5.0 *4 |
| 型号 | 材质 / 表面处理 / 重量(kg) / 法兰接口 / GR60A / GR90A / GR180A |
| 消音器 | RS-01+ 套件A / SUS304 / GBB处理 / 4.1 / KF40 / 〇 / 〇 / - |
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