多级罗茨型干泵 Model:HR
HR
关于Model:HR的介绍、购买、商讨。高温区域均热化 实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。“ Model:UR ” 可比 “Model: HR ” 更加高温化
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说明
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真空泵(低・中真空)
多级罗茨型干泵
Model:HR
关于Model:HR的介绍、购买、商讨
高温区域均热化 实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。“ Model:UR ” 可比 “Model: HR ” 更加高温化。
氦气密封 通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策 采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性 主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能 可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等
*1 HR300、HR600、HR1200请勿在200Pa以上的吸入压力下连续运转。
HR60
HR90
HR180
HR300
HR600
HR1200
规格
| 型号 | HR |
|---|---|
| 产品分类 | 多级罗茨型干泵 |
| 型号 | HR60 / HR90 / HR300 / HR600 / HR1200 |
| 使用泵 | 干式真空泵 / HR60 / HR90 / HR60 / HR90 / HR90 |
| 机械增压泵 | - / - / PRC-003A / PRC-006A / PRC-012A |
| 最大 排气速度 | 50Hz / m 3 /h (L/min) / 62(1030) / 112(1860) / 359(5,980) / 653(10,900) / 1,012(16,900) |
| 60Hz | m 3 /h (L/min) / 80(1333) / 126(2100) / 365(6,080) / 701(11,700) / 1,051(17,500) |
| 到达压力 | Pa / 5 / 0.67 |
| 最大排气压力 （吸入圧力） | 大气压 *1 |
| 最大排气压力 （吸入圧力） | Pa / 1~ 大气压 |
| 吸气口 (CE规格) | VG50(KF50) / VG80(KF50) / VG80(KF80) / VG100(KF100) |
| 排气口 | KF40 |
| 质量 | kg / 180 / 245 / 275 / 370 / 420 |
| 电源 | 三相 / VAC (Hz) / 200(50/60), 220(60) |
| 电流值 | 稳定时 / A / 7.1 (at 200V) / 11.2 (at 200V) / 7.8 (at 200V) / 12.9 (at 200V) / 15.4 (at 200V) |
| 最大值 | A / 7.3 (at 200V) / 11.8 (at 200V) / 8.1 (at 200V) / 13.8 (at 200V) / 18.9 (at 200V) |
| 冷却水一次圧力 | MPa / 0.1~0.3 |
| 冷却水出入口压差 | MPa / >0.1 |
| 冷却水流量 | L/min / >5.0 |
| 吹扫气 | 一次压力 / MPa / 0.1~0.5 |
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