螺杆型干泵 Model:MS
MS
关于Model:MS的介绍、购买、商讨。" Model:MS " 是螺杆型干式真空泵。在传统的 " Model:LS " 的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能
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说明
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真空泵(低・中真空)
螺杆型干泵
Model:MS
关于Model:MS的介绍、购买、商讨
" Model:MS " 是螺杆型干式真空泵。在传统的 " Model:LS " 的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。
MS120A
MS600A
MS1200A
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
*1：到达压力时 *2：At ultimate pressure (reference only) *3：Purge gas使用时的最大水蒸气处理量 *4：Including a silencer
排气速度曲线
MA600A
规格
| 型号 | MS |
|---|---|
| 产品分类 | 螺杆型干泵 |
| 型式 | MS120A / MS600A / MS1200A |
| 最大排气速度 *1 | m 3 /h / 115 / 560 / 980 |
| 到达压力 | Pa / ≦0.6 / ≦0.1 |
| 电源电压 | 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% |
| 消费电力概略值 *2 | kW / 2.4 / 3.1 / 3.1 |
| 冷却水量 | L/min / >4.0 |
| Purge gas量 *1 | SLM / 0~50 |
| 最大水蒸气处理量 *1*3 | kg/h / 1.5 |
| 噪音值 *1 | dB(A) / 61 / 62 / 64 |
| 吸气口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) / ISO-F-80 / ISO-F-100 |
| 排气口 | KF40 |
| 质量 *4 | kg / 139 / 241 / 264 |
| 适用规格 | CE、cTUVus |
| 标准附属品 | Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer |
| 本体选配件 | Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM |
| 外部选配件 | Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve |
| MS120A | MA600A |
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