PRC
关于Model:PRC的介绍、购买、商讨。无油 由于没有润滑油,因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽,也可以具有稳定性。采用密封电机 通过采用密封电机,可以不需要大气/真空机械密封
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真空泵(低・中真空)
Model:PRC
关于Model:PRC的介绍、购买、商讨
无油 由于没有润滑油,因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽,也可以具有稳定性。
采用密封电机 通过采用密封电机,可以不需要大气/真空机械密封。可以在没有漏油的清洁环境中使用。
表面处理,具有优异的耐腐蚀性 主要部件采用阳极氧化铝处理,具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性,并可防止泵内部的划伤和腐蚀。还提供可选的表面处理。
大气压驱动型(选件:变频器)有效减少排气时间 可以与粗抽泵同时启动,与标准型相比,可以减少排气时间。
蒸着、溅射、离子电镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、检漏设备
气体置换、充填、真空隔断
热处理炉、溶解炉
其他各种真空设备
最大允許壓差
note)此目录使用 SI单位系统。使用非 SI单位制的转换如下。4.0 x 10 -1 Pa = 3.0 × 10 -3 Torr *1 标准模型带有表面处理 (阳极氧化涂层)。可选地,无需表面处理模型就可以选择。*2 用皮拉尼真空计测定。(测量条件: 标准后备泵和标准真空油。) *3 不能选配安全增强型防爆型和耐压防爆型法兰电机。*4 油选项:可选择氟油(J25F)类型,请与我们联系。*5 在无结露的环境中使用。*6 有关其他尺寸,请访问ULVAC网站并参考发布的CAD数据。
排气速度曲线
| 型号 | PRC |
|---|---|
| 产品分类 | 罗茨泵 |
| 型号 *1 | PRC-003A / PRC-006A / PRC-012A / PRC-018A |
| 最大排气速度 | 50Hz / 280 m 3 /h (4670 L/min) / 500 m 3 /h (8330 L/min) / 1000 m 3 /h (16700 L/min) / 1500 m 3 /h (25000 L/min) |
| 60Hz | 330 m 3 /h (5500 L/min) / 600 m 3 /h (10000 L/min) / 1200 m 3 /h (20000 L/min) / 1800 m 3 /h (30000 L/min) |
| 最大吸氣壓力 | 50Hz / 1.2 x 10 3 Pa / 1.3 x 10 3 Pa / 1.2 x 10 3 Pa |
| 60Hz | 9.3 x 10 2 Pa / 1.1 x 10 3 Pa / 9.3 x 10 2 Pa |
| 最大允許壓差 | 50Hz / 4.0 x 10 3 Pa / 7.3 x 10 3 Pa / 4.3 x 10 3 Pa |
| 60Hz | 3.3 x 10 3 Pa / 6.0 x 10 3 Pa / 3.2 x 10 3 Pa |
| 到达压力 *2 | 4.0 x 10 -1 Pa / 6.7 x 10 -1 Pa |
| 容許驅動壓力 | ~1.0 x 10 5 Pa(大气压开始型) |
| 电机 *3 | 电机类型 / 密封三相感应电动机 |
| 高效率等級 | ー |
| 出力 | 0.75 kW( 2极数 ) / 2.2 kW( 2极数 ) / 3.7 kW ( 2极数 ) / 5.5 kW( 2极数 ) |
| 电压 (200V系统) | 50Hz / 200 V |
| 60Hz | 200/220 V |
| 液压油 *4 | ULVOIL R-42/SMR-100 |
| 油量 | 0.7 L / 1.5 L / 1.9 L |
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| 冷卻方式 |
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| 水冷 |
| 冷却水 | 一次側壓力 / 0.3 Mpa |
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| 吸气/排气口壓差量 | 0.01 Mpa以上 |
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| 冷却水量 | 2 L/min / 3 L/min |
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| 冷却水温 *5 | 5 ~ 30 ℃ |
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| 吸气口 JIS-B-2290 | VF80 相当 / ISO80F 或 ISO100F (可選) / VG100 相当 / ISO100F (可選) / VG150 相当 / ISO160F (可選) |
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| 排气口 JIS-B-2290 | VF80 相当 / ISO80F 或 ISO100F (可選) / VF100 相当 / ISO100F (可選) |
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| 外直径(尺寸) W×D×H *6 | 296×575×260 mm / 356×619×320 mm / 406×759×340 mm / 406×989×340 mm |
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| 重量 | 51 kg / 86 kg / 118 kg / 150 kg |
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| 標準粗抽泵 | VD601 / VD901 / VS2401 / VS2401 |
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| 符合规格 | - |
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| 标准附属品 | 泵所需油量,使用说明书 |
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