溅射离子泵 Model:PST
PST
关于Model:PST的介绍、购买、商讨。应用于极・超真空，已通过ISO标准，极限压力10 -9 Pa测试。稀有气体排气增强型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。*1 GST-07L-B型控制器使用时
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说明
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真空泵(高真空)
溅射离子泵
Model:PST
关于Model:PST的介绍、购买、商讨
应用于极・超真空，已通过ISO标准，极限压力10 -9 Pa测试。
稀有气体排气增强型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。（与本公司相比）
在超高真空范围内实现高抽速。
在短时间内可以达到超高真空。
在超高真空范围内具有出色的启动特性。（超高真空范围内持续放电）
电子显微镜
电子束曝光装置
讨厌振动的分析装置
极・超高真空环境下的使用等
*1 GST-07L-B型控制器使用时
“Model:PST”控制器
排气速度曲线
PST-030CU_AU
PST-050CU_AU
PST-100CX_AX
PST-110AU
PST-200CXII_AXII
PST-400CXII_AXII
规格
| 型号 | PST |
|---|---|
| 产品分类 | 溅射离子泵 |
| 型号 | PST-030CU / PST-030AU / PST-050CU / PST-050AU / PST-100CX / PST-100AX |
| 主要对象气体 | 活性气体 / 希有气体 / 活性气体 / 希有气体 / 活性气体 / 希有气体 |
| 排气速度* (再生排气速度) | 0.03m 3 /s (N 2 测定时) / 0.013m 3 /s (Ar 测定时) / 0.045m 3 /s (N 2 测定时) / 0.016m 3 /s (Ar 测定时) / 0.10m 3 /s (N 2 测定时) / 0.05m 3 /s (Ar 测定时) |
| 到达压力 | 10 -9 Pa |
| 动作压力 | 推荐值 / <8.0×10 -3 Pa / <5.0 x 10 -3 Pa |
| 内容积 | 0.67 X 10 -3 m 3 / 1.3x10 -3 m 3 / 3.3x10 -3 m 3 |
| 泵元件数量 | CU型单元×1 式 / AU sell×1式 / CU sell×1 / AU sell×1 / CX sell×1 / AX sell×1 |
| 连接法兰规格 | ICF070 / ICF114 / ICF152 |
| 施加电压 | DC+7.5kV |
| 加热器 | 无设定 / AC200V, 300W / AC200V, 320W |
| 烘烤温度 | 250℃ |
| 质量 | 9.5 kg / 12kg / 37kg |
| 外形尺寸 | W x H x D / 103×183×187 mm / 153×204×241mm / 155×336×340mm |
| 使用环境 | 温度范围 / 5~40℃ |
| 湿度范围 | 85%以下(无结露) |
| 固定泵的螺栓孔尺寸 | 4处-M5 深10mm / 4处-M8 深6mm |
| 推荐的控制器 | GST-07L-B |
| 型号 | PST-110AU / PST-200CXII / PST-200AXII / PST-400CXII / PST-400AXII |
| 主要对象气体 | 活性气体 / 活性气体 / 希有气体 / 活性气体 / 希有气体 |
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