基础工艺 Model: Qulee BGM2-201 / 202
Qulee BGM2-201 / 202
Model: Qulee BGM2-201 / 202。最适合用于有机EL蒸发设备的过程管理。关于Model: Qulee BGM2-201 / 202的介绍、购买、商讨
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说明
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气体分析仪（工艺气体监测仪）
基础工艺
Model: Qulee BGM2-201 / 202
最适合用于有机EL蒸发设备的过程管理
关于Model: Qulee BGM2-201 / 202的介绍、购买、商讨
性价比优异的通用规格
测量质量范围 1～200 amu
显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作
增强检漏功能
可以测量总压力
标准搭载Qulee QCS软件
符合CE
真空蒸发设备和溅射设备等成膜设备的残留气体分析
高真空排气设备的残留气体分析
冷冻干燥设备的残留气体分析
研究开发用途的各种气体分析
Resolution M/△M=1M(10% P.H.)
规格
| 型号 | Qulee BGM2-201 / 202 |
|---|---|
| 产品分类 | 基础工艺 |
| 型号 | BGM2-101 / BGM2-201 / BGM2-102 / BGM2-202 |
| Mass filter type | Quadrupole |
| Mass range | 1～100 amu / 1～200 amu / 1～100 amu / 1～200 amu |
| Detector type | Faraday cup / EM tube Faraday cup |
| Sensitivity | 10 -7 A/Pa / 4A/Pa |
| Minimum detectable partial pressure | 10 -8 Pa / 10 -12 Pa |
| Maximum operating pressure | 1x10 -2 Pa |
| Total pressure function | Capable/10 -2 〜10 -5 Pa |
| One Click function | Capable /He/H 2 O/N 2 /O 2 /Any gas |
| One Click leak test function | Capable |
| Power input | DC24V±10％ 50W |
| Maximum sensor operating temperature | 120℃ (248℉ ) |
| Maximum bakeout temperature (electronics removed) | 250℃ (482℉) |
| Operating temperature range | 10 to 40℃ (50 to 104℉ ) |
| Software | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用 |
| Applicable standard | CE |
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