溅射工艺 Model: Qulee CGM2-101 / 102
Qulee CGM2-101 / 102
Model: Qulee CGM2-101 / 102。最适合用于溅射设备的过程管理（残留水分、不纯物、泄漏、氢碳、硅烷、氯金等监控）。关于Model: Qulee CGM2-101 / 102的介绍、购买、商讨
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说明
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气体分析仪（工艺气体监测仪）
溅射工艺
Model: Qulee CGM2-101 / 102
最适合用于溅射设备的过程管理（残留水分、不纯物、泄漏、氢碳、硅烷、氯金等监控）
关于Model: Qulee CGM2-101 / 102的介绍、购买、商讨
适用于各种溅射系统的工艺监控
Air Leak监控
残留水分管理
清洗液残留物
Galden® 和其他制冷剂泄漏
残余碳氢化合物监测
无需差动排气系统（less than 1 Pa at 7.5 x 10 -3 Torr/1 x 10 -2 mbar）
内置显示屏：无需PC可单独操作使用
可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-102）
可进行全压测定
操作简单-One Click功能
标配Qulee QCS软件
支持CE标准
适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H 2 O)。
用于溅射设备的泄漏测试。
M/△M=1M(10% P.H.)
规格
| 型号 | Qulee CGM2-101 / 102 |
|---|---|
| 产品分类 | 溅射工艺 |
| 型号 | CGM-051 / CGM2-101 / CGM-052 / CGM2-102 |
| 质量分离方式 | 四极型质量分析仪 |
| 质量数范围 | 1～50 amu / 1～100 amu / 1～50 amu / 1～100 amu |
| 检出器 | 法拉第杯 / 二级电子倍增管／法拉第杯 |
| 感度 | 0.1uA/Pa / 0.1mA/Pa |
| 最小检知分圧 | 1x10 -7 Pa / 1x10 -10 Pa |
| 最大使用圧力 | 2Pa / 2Pa(FC)1x10 -2 Pa(SEM) |
| 线性 | 1Pa |
| 全压力测量功能 | 有 |
| Degas function | Electron bombard type 300V, 5mA |
| 一键检漏功能 | 有 / He / H 2 O / N 2 / O 2 / Any gas |
| 电源电压 | DC24V±10％ 50W |
| 最大烘烤可能温度 (传感器单元连接时) | 120℃ |
| 最大烘烤可能温度 (传感器单元移除时) | 250℃ |
| 使用温度范围 | 10～40℃ |
| 接口 | Ethernet |
| 软件 | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11） 适用 |
| 符合标准 | CE |
FAQ
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