高性能工艺 Model: Qulee HGM2-202
Qulee HGM2-202
Model: Qulee HGM2-202。最适合用于研究开发/R&D用途的气体分析（质量数范围1-200amu）。关于Model: Qulee HGM2-202的介绍、购买、商讨
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说明
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气体分析仪（工艺气体监测仪）
高性能工艺
Model: Qulee HGM2-202
最适合用于研究开发/R&D用途的气体分析（质量数范围1-200amu）
关于Model: Qulee HGM2-202的介绍、购买、商讨
Qulee HGM2是ULVAC新推出的 " Model:Qulee " 残留气体分析仪（支持以太网通讯）的高端机型，在简单易用方面具有革命性意义。实现2.5×10 -6 A/Pa（法拉第杯）的高灵敏度，满足从各种研发应用到真空设备过程控制的所有需求。
测量质量范围 1～200 amu
各种研究和开发应用的理想选择 - 实现作为高端功能的最高感光度∀2.5×10 -6 A/Pa
通讯接口 - 支持以太网通讯
显示部分一体化的设计 无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
烘焙兼容 - 连接传感器单元时可进行高达 250°C 的高温烘烤（传感器单元断开时：300°C）
搭载DEGAS功能 - 采用电子冲击脱附法
维护 - 易于更换灯丝、离子源和二次电子倍增器
增强预防性维护功能 - 离子源和二次电子倍增器的预防性维护,配备分析管溯源功能（专利第5016031号）
增强检漏功能 - 能够进行氦气泄漏测试、空气泄漏测试和累积测试
可以测量总压力
标准搭载Qulee QCS软件
符合CE
热脱附分析等各种研究开发
超高/超高真空抽气设备的残余气体分析等。
气体中痕量杂质的测量
规格
| 型号 | Qulee HGM2-202 |
|---|---|
| 产品分类 | 高性能工艺 |
| 型号 | HGM2-202 / HGM2-302 |
| Mass filter type | Quadrupole |
| Mass range | 1 ~ 200 amu / 1 ~ 300 amu |
| Resolution | M/ ΔM=1M(10% P.H.) |
| Detector type | Faraday cup / SEM / Faraday cup / SEM |
| Sensitivity | 2.5×10 -6 A/Pa @1.0A/Pa / 4 A/Pa / 2.0×10 -6 A/Pa @1.0A/Pa / 4 A/Pa |
| 3.3×10 -4 A/Torr | 533 A/Torr / 3.3×10 -4 A/Torr / 533 A/Torr |
| 2.5×10 -4 A/mbar | 400 A/mbar / 2.5×10 -4 A/mbar / 400 A/mbar |
| Minimum datectable partial pressure | Approx. 10 -9 Pa / Approx. 10 -13 Pa / Approx. 10 -9 Pa / Approx. 10 -13 Pa |
| Approx. 7.5×10 -12 Torr | Approx. 7.5×10 -16 Torr / Approx. 7.5×10 -12 Torr / Approx. 7.5×10 -16 Torr |
| Approx. 1×10 -11 mbar | Approx. 1×10 -12 mbar / Approx. 1×10 -11 mbar / Approx. 1×10 -12 mbar |
| Maximum operating pressure | 1×10 -2 Pa |
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