热阴极电离真空计 Model:SH200-A / R / E
SH200-A / R / E
Model:SH200-A / R / E。关于Model:SH200-A / R / E的介绍、购买、商讨。这是一个新Model的传感器类型 "Model:G-TRAN复合电离真空计"，可以实现不同的测量范围
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 ULVAC SH200-A / R / E 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。
← 返回产品列表
说明
日本語 English 中文
热阴极电离真空计
Model:SH200-A / R / E
具有改进设计和功能的多离子计
关于Model:SH200-A / R / E的介绍、购买、商讨
这是一个新Model的传感器类型 "Model:G-TRAN复合电离真空计"，可以实现不同的测量范围。作为B-A型电离真空计、可以测量超高真空。保留了以往的宽幅测压和低运行成本的理念，但进行了改进，更加人性化。
可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据
小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。
操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。
更强大的产品阵容：除模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。
灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10 +5 ～5×10 -8 Pa）（选配SWU10-R的情况下）。
可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。
用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控，包括半导体和电子元件。
用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量，例如in-line式和枚叶式
高真空・超高真空设备的压力测量
各种模式规格
SH200-A/SH200-R/SH200-E有3种方式可选，多规格单体模式、皮拉尼真空计的组合模式、皮拉尼真空计或大气压传感器的三重组合模式
当需要确认大气压，如腔体打开的情况下，推荐使用三合一组合
电脑/智能手机的连接图示
应用软件「UL-MOBI」
Compatible devices
规格
| 型号 | SH200-A / R / E |
|---|---|
| 产品分类 | 热阴极电离真空计 |
| 型号 | SH200-A / SH200-R / HT200-E （即将上市） |
| 规格 | 标准规格 / 串口通信规格 / EtherCAT规格 |
| 适应多离子传感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) |
| 可以连接的传感器 | 多离子传感器：1本 皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选） 大其他传感器SAU：1本（可选） |
| 测量精度（N 2 ） | SH200本体模式：±2％ |
| 取样时间 | 60ms 5回 移動平均処理 |
| 測定値出力 | 出力电压 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁 圧力换算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} |
| 控制输入信号 | FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF 打开集电极动作、负逻辑 * FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异 / - / - |
| 制御出力信号 | 传感器错误，设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控 定格：24V MAX、50mA MAX、飽和電圧1V / - / - |
| 串行通信规格 | - / RS232C/RS-485 / EtherCAT |
| LED显示 | POWER/ERROR：电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化) |
| 发射电流 | 1mA (1×10 -3 Pa以下), 10μA (1×10 -3 Pa以上) |
| DEGAS | 电子轰击脱离方法（电子轰击）1mA、330V |
| 测量部耐圧性 | 2×10 +5 Pa （绝对压力） * 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性 |
提交需求
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。