SP1
传感器型皮拉尼真空计,采用经过验证的“Model:WP”测量头。关于Model:SP1的介绍、购买、商讨。传感器规格:如果不需要压力指示器 ・真空计成降低 ・控制板空间节省 ・配线简化
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皮拉尼真空计
Model:SP1
传感器型皮拉尼真空计,采用经过验证的“Model:WP”测量头
关于Model:SP1的介绍、购买、商讨
传感器规格:如果不需要压力指示器 ・真空计成降低 ・控制板空间节省 ・配线简化
测定子更换更容易
灯丝使用耐腐蚀材料铂
到目前为止使用的测量部件(SP1:WP-01,02,03,16)仍在使用
可以输出2个设定点
SP1:压力为0至5 V输出(非线性输出)
电源电压:24 VDC输入
用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
Accuracy
Standard accessories
IO and analog GND are not isolated from the power GND.
| 型号 | SP1 |
|---|---|
| 产品分类 | 皮拉尼真空计 |
| Type | Sensor unit |
| 型号 | SP1 |
| Compatible sensor head | WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 |
| Accuracy | ±15 %(51 Pa ~760 Pa) |
| Operating temperature range | 10 ~ 40℃ |
| Measurement value output | Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V) |
| Setpoint 1/2 Pressure setting adjustment monitor | Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V) |
| Control output signal | Open collector output, Negative logic |
| LED display | Power, error, set point 1, set point 2 |
| Power supply voltage | DC24V±2V, 90mA(Max.) |
| Input/Output connector | D-sub-15P(M2.6 screw) |
| 重量 | 190g /0.41lb (Excluding sensor head) |
| Standard accessories | Input/Output connector 1pc |
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