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皮拉尼真空计 Model:SP1

SP1

传感器型皮拉尼真空计,采用经过验证的“Model:WP”测量头。关于Model:SP1的介绍、购买、商讨。传感器规格:如果不需要压力指示器 ・真空计成降低 ・控制板空间节省 ・配线简化

品牌: ULVAC价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 ULVAC SP1 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持,价格面议。

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皮拉尼真空计 Model:SP1
说明规格FAQ

说明

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皮拉尼真空计

Model:SP1

传感器型皮拉尼真空计,采用经过验证的“Model:WP”测量头

关于Model:SP1的介绍、购买、商讨

传感器规格:如果不需要压力指示器 ・真空计成降低 ・控制板空间节省 ・配线简化

测定子更换更容易

灯丝使用耐腐蚀材料铂

到目前为止使用的测量部件(SP1:WP-01,02,03,16)仍在使用

可以输出2个设定点

SP1:压力为0至5 V输出(非线性输出)

电源电压:24 VDC输入

用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制

用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制

用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

Accuracy

Standard accessories

IO and analog GND are not isolated from the power GND.

规格

型号SP1
产品分类皮拉尼真空计
TypeSensor unit
型号SP1
Compatible sensor headWP-01, WP-02, WP-03, WP-16
Accuracy±15 %(51 Pa ~760 Pa)
Operating temperature range10 ~ 40℃
Measurement value outputNonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V)
Setpoint 1/2 Pressure setting adjustment monitorNonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V)
Control output signalOpen collector output, Negative logic
LED displayPower, error, set point 1, set point 2
Power supply voltageDC24V±2V, 90mA(Max.)
Input/Output connectorD-sub-15P(M2.6 screw)
重量190g /0.41lb (Excluding sensor head)
Standard accessoriesInput/Output connector 1pc

FAQ

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