涡轮分子泵 Model:UTM-B
UTM-B
关于Model:UTM-B的介绍、购买、商讨。安装方向自由 安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。搭载控制器 控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸
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说明
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真空泵(高真空)
涡轮分子泵
Model:UTM-B
关于Model:UTM-B的介绍、购买、商讨
安装方向自由 安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器 控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力 高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择 VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空 在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H 2、He等轻气体主排气系统
UTM-70B
UTM-300B
规格
| 型号 | UTM-B |
|---|---|
| 产品分类 | 涡轮分子泵 |
| 型号 | UTM70B / UTM300B |
| 泵体 | 冷却方式 / 自然空冷 / 強制空冷 / 自然空冷 / 強制空冷 |
| 法兰口径 | 吸气口*1 / VG65, ICF114, ISO063-K / VG100, ICF152, ISO100-K |
| 排气口 | KF16 / KF16 |
| 排气速度 (无防护网时) | N 2 / 70 L/s / 280 L/s |
| He | 60 L/s / 270 L/s |
| H 2 | 49 L/s / 220 L/s |
| 到达压力 *2 | 烘烤后 / - *3 / 10 -8 Pa / - *3 / 10 -8 Pa |
| 烘烤前 | 10 -6 Pa / 10 -6 Pa / 10 -6 Pa |
| 最大压缩比 | N2 : >1×10 9 , He : 4×10 7 , H2 : 4×10 5 / N2 : >1×10 9 , He : 7×10 6, H2 : 1×10 5 |
| 最大吸气口压力 *4, *5, *6 | N 2 / 0.43Pa / 1.1Pa / 0.06Pa / 0.7Pa |
| 最大排气口压力 *4, *5, *7 | N 2 / 300Pa / 900Pa / 100Pa / 1000Pa |
| 连续运转 最大流量 *8 | 无排放 气体 / N 2 / 15sccm *9 / 40sccm *9 / 10sccm *10 / 100sccm *10 |
| 无排放 气体 | Ar / - / 10sccm *9 / - / 30sccm *10 |
| 有排放 气体 | - / 15sccm *9 / - / 40sccm *10 |
| 推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) *11 | >60L/min / >120L/min |
| 质量 | VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg / 6.0kg / 9.0kg / 6.3kg / 9.3kg |
| 回转数 | 87000rpm / 60000rpm |
| 启动时间（Up to 80%） (DC24V 背圧:5Pa以下时） | 1.7 min / 3.5 min |
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