涡轮分子泵 Model:UTM-MI
UTM-MI
关于Model:UTM-MI的介绍、购买、商讨。泵体和控制器一体化 泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。安装方向自由 安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度
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说明
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真空泵(高真空)
涡轮分子泵
Model:UTM-MI
关于Model:UTM-MI的介绍、购买、商讨
泵体和控制器一体化 泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。
安装方向自由 安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
广域大流量设计，适用于轻工艺
泵速可以在25％至100％的范围内变化，腔室的压力可以调节。
高耐久性和安全性 已经通过各种安全确认测试，例如空气冲击测试和触地测试。
各种设备的主真空排气系统 ・半导体制造设备 ・蒸发设备 ・溅射设备 ・分析设备 ・实验设备等 ・研究开发设备
不会生成副反应物的轻工艺的主排气系统
替换设备上的有扩散泵
其他一般高真空排气用途
*1：顺序表示。*2：在没有保护网时的值。*3：UTM2300A和UTM3400A为计算值。*4：不能同时满足最大吸气口压力和最大排气口压力的条件。*5：请勿使用反应性气体，腐蚀性气体。关于气体气体我们。*6：不结露。*7：30SCCM吸引时。*8：螺栓的强度和固定方法等的各种条件，详细信息请参照规格书。
Dimensions
(mm)
Note)The position and phase of outlet, gas purge port, cooling water valve and cooling water valve connector are different to types. Please contact us for the details information.
规格
| 型号 | UTM-MI |
|---|---|
| 产品分类 | 涡轮分子泵 |
| 型号 | UTM1200A / UTM1600A / UTM2300A / UTM3400A |
| 吸气口 | VG 150 / ISO 160F / VG 200 / VG 250 / ISO 200F / ISO 250F / VG 250 / ISO 250F / VG 300 / VG 350 / ISO 320F |
| 排气口 | KF40 |
| 极限压力 *1 | 10 -7 Pa |
| 排气速度 *2*3 | N2 / 1030 L/s / 1400 L/s / 2100 L/s / 3200 L/s |
| Ar | 980 L/s / 1330 L/s / 2000 L/s / 3100 L/s |
| H2 | 660 L/s / 750 L/s / 1380 L/s / 2100 L/s |
| 压缩比 | N2 / 2×10 8 / ≧ 1×10 8 / ≧ 1×10 9 |
| He | 7×10 3 / 5×10 3 / 1×10 5 |
| H2 | 8×10 2 / 9×10 2 / 6×10 3 |
| 最大吸气口圧力 *4 | 26 Pa / 4.5 Pa / 7 Pa |
| 最大排气口压力 *4 | 266 Pa / 200 Pa / 270 Pa |
| 旋转数 | 37200 min-1 / 33700 min-1 / 27600 min-1 |
| 旋转数可変功能 | 泵的运转旋转数可以在规定旋转数的25％～100％之间变化。（设定单位为0.1％） |
| 启动时间 | 8分以内 / 9分以内 / 16分以内 |
| 安装方向 | 可全方位安装 |
| 表面处理 *5 | 无 |
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