涡轮分子泵 Model:UTM-MS
UTM-MS
关于Model:UTM-MS的介绍、购买、商讨。涡轮分子泵，带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准
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说明
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真空泵(高真空)
涡轮分子泵
Model:UTM-MS
关于Model:UTM-MS的介绍、购买、商讨
涡轮分子泵，带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。
泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。
排气速度300L/s～4000L/s的型号阵容。
分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。
高耐用性和安全性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种安全性确认试验。
各种设备的主真空排气系统 - 半导体制造设备 - 蒸镀设备 - 溅射设备 - 研究开发设备 - 分析设备、实验装置等
- 半导体制造设备 - 蒸镀设备 - 溅射设备 - 研究开发设备 - 分析设备、实验装置等
主真空泵系统，用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。
其他的高真空排气系统。
*1：digit number is expressed. *2：Without a protective net. *3：Max inlet pressure and Max outlet pressure cannot be satisfied at same time.
规格
| 型号 | UTM-MS |
|---|---|
| 产品分类 | 涡轮分子泵 |
| 型号 | UTM300A-MS / UTM400A-MS / UTM800A-MS / UTM1000A-MS |
| Inlet port | VG100 / ICF152 / VG150 / ICF203 / VG200 / ICF253 |
| Outlet port | KF25 / KF40 |
| Cooling method | Water cooling / Air cooling / Water cooling / Air cooling / Water cooling / Air cooling / Water cooling / Air cooling |
| Ultimate pressure *1 | Pa / 10 -7 / 10 -8 |
| Pumping speed *2 | N2 / L/s / 320 / 420 / 800 / 1080 |
| Ar | L/s / ー |
| He | L/s / 340 / 360 / 800 / 930 |
| H2 | L/s / 320 / 340 / 700 / 790 |
| Compression rate | N2 / 1×10 9 |
| He | 8×10 4 |
| H2 | 1×10 4 / 4×10 3 |
| Max inlet pressure *3 | Pa / 200 / 1.3 / 200 / 1.3 / 400 / 1.3 / 400 / 1.3 |
| Max outlet pressure *3 | Pa / 400 / 40 / 400 / 40 / 665 / 40 / 665 / 40 |
| Rotation speed | rpm / 45000 / 35000 |
| Start-up time | 5minutes or less |
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