排气单元 Model:VFR-200M/X
VFR-200M/X
日本語 English 中文。真空泵(高真空)。排气单元。Model:VFR-200M/X。ULVAC KIKO。关于Model:VFR-200M/X的介绍、购买、商讨。可以在不停止主泵的情况下打开真空室。使用三通阀，组件更少，维修更容易。真空计等配件可以存放在同一个架台上。空冷型，不需要冷却水。带有轮子，易于移动。配有调节器，可以确保
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说明
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真空泵(高真空)
排气单元
Model:VFR-200M/X
ULVAC KIKO
关于Model:VFR-200M/X的介绍、购买、商讨
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
使用三通阀，组件更少，维修更容易。
真空计等配件可以存放在同一个架台上。
空冷型，不需要冷却水。
带有轮子，易于移动。
配有调节器，可以确保安装的安全性。
油扩撒泵
排气系统图
规格
| 型号 | VFR-200M/X |
|---|---|
| 产品分类 | 排气单元 |
| 极限压力 | 7.0×10 -４ Pa |
| 主泵 | 油扩散泵（空冷） 50 L/sec |
| 辅助泵 | 油回转真空泵 20 L/min |
| メイン阀门 | 25A蝶阀 |
| 辅助阀门 | 三通阀 |
| 吸气口 | VG-25 |
| 重量 | 20kg |
| 最大尺寸 （W×D×H） | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
| 型号 | VPC-051 |
| 所需电力 | 单相 100V 0.63kVA |
| 接地端子 | Ｄ种 （接地电阻值／100MΩ以下） |
| 安装 | 乙烯基电缆（带插头） 2m |
| 型 式 | DPF-200 |
| 极限压力 | 10 -5 Pa |
| 最大排气速度 | 200L/sec |
| 临界背压 | 20Pa |
| 所要電力 | 单相 100V 0.45kW |
| 使用油 | SX 70cc |
| 质量 | 5kg |
| 吸气法兰 | VG-65 |
| 排气管 | Φ27mm |
| 冷却方式 | 空冷 |
FAQ
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