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FemtoTGV 通孔玻璃 TGV 微加工激光工作站

FemtoTGV

FemtoTGV 是针对通孔玻璃 TGV 制备优化的激光微加工工作站。在玻璃芯基板 TGV 加工中,常用方法是激光加工结合湿法刻蚀,FemtoTGV 负责其中的激光加工部分

品牌: Workshop of Photonics价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Workshop of Photonics FemtoTGV 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持,价格面议。

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FemtoTGV 通孔玻璃 TGV 微加工激光工作站
说明规格FAQ

说明

FemtoTGV 是针对通孔玻璃 TGV 制备优化的激光微加工工作站。

在玻璃芯基板 TGV 加工中,常用方法是激光加工结合湿法刻蚀,FemtoTGV 负责其中的激光加工部分。

WOP 已开发适合多种玻璃类型、高深宽比通孔玻璃、不同通孔形貌和不同刻蚀能力的工艺技术与设备。

规格

Model or seriesFemtoTGV
Product categoryThrough Glass Vias (TGV) laser micromachining workstation
Glass compatibilityBF33, D263t, EXG, SG 7.8 , SG 3.4, EN-1A, OA-11
LaserHigh power ultrashort pulse IR
Optical beam deliveryWOP patented optical beam delivery engine
Samples sizeLaboratory: up to 300×300 mm Industrial: up to 600×600 mm
Positioning systemXYZ mechanical axes, positioning accuracy ±0.5 μm featuring continuous wafer level patterning
VisionReal-time visualization and positioning camera with feature recognition
MetrologyCompactable with AOI
Sample handlingManual | semi automatic | automatic
Optical pulse detection functionMiss fire detection or Low energy detection
Fume extraction systemIncluded
AccessoriesPower control, polarization state control
SoftwareEntire system control via single GUI developed by WOP
Supported file formats– 2D/3D model import: STL, DXF, DWG, AMF, PLT, FAB – Bitmap support: BMP, GIF, JPG, JPEG, PNG – Text files as a table array: TXT, RTF, TEX
ConstructionGranite base with passive / active vibration control
Glass typeSINGLE SHOT: BF33, D263T, EXG, SG 7.8, SG 3.4, EN-1A, OA-11; MULTI SHOT: BF33, D263T, EXG, SG 7.8, SG 3.4, EN-1A, OA-11

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Glass thickness*
SINGLE SHOT: up to 1,1 mm; MULTI SHOT: 0,1 – 10 mm
Min micro hole diameter*SINGLE SHOT: 10 µm; MULTI SHOT: 40 µm
Aspect ratio*SINGLE SHOT: up to 1:100; MULTI SHOT: up to 1:100
Hole shapeSINGLE SHOT: hourglass or taperless; MULTI SHOT: hourglass or taperless
Processing speedSINGLE SHOT: up to 5000 holes/sec depends on panel design; MULTI SHOT: 20 holes/sec

FAQ