Beneq P1500
Beneq P1500 产品资料称其为最大 ALD system。参数列出可容纳最高 1300 × 2400 mm 部件，采用 thermal ALD，最高温度 400°C
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Beneq Beneq P1500，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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参数列出可容纳最高 1300 × 2400 mm 部件，采用 thermal ALD，最高温度 400°C。
页面还列出主机尺寸 6195 × 2480 × 2600 mm。
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