Beneq P1500
Beneq P1500 产品资料称其为最大 ALD system。参数列出可容纳最高 1300 × 2400 mm 部件，采用 thermal ALD，最高温度 400°C
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参数列出可容纳最高 1300 × 2400 mm 部件，采用 thermal ALD，最高温度 400°C。
页面还列出主机尺寸 6195 × 2480 × 2600 mm。
| 型号 | P1500 |
|---|---|
| 工艺类型 | Thermal ALD |
| 最大部件尺寸 | up to 1300 × 2400 mm |
| 最高温度 | 400°C |
| 主机尺寸 | 6195 × 2480 × 2600 mm |
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