Beneq P1500 大尺寸基板 ALD 系统
Beneq P1500 产品资料称其为最大 ALD system。参数列出可容纳最高 1300 × 2400 mm 部件,采用 thermal ALD,最高温度 400°C
- 型号
- P1500
- 工艺类型
- Thermal ALD
- 最大部件尺寸
- up to 1300 × 2400 mm
Beneq P1500 产品资料称其为最大 ALD system。参数列出可容纳最高 1300 × 2400 mm 部件,采用 thermal ALD,最高温度 400°C