Beneq P400A
Beneq P400A 是 Beneq 官方 P Series 产品线中的批量热 ALD 生产系统，平面基板总批量面积最高 8 m²。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Beneq Beneq P400A 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。
← 返回产品列表Beneq P400A 产品线列为 thermal ALD production system。
参数列出平面基板总批量面积最高 8 m²，最高工艺温度 550°C。
该系统属于 Beneq Advanced ALD 产品线下的独立当前产品页。
| 型号 | P400A |
|---|---|
| 工艺类型 | Thermal ALD |
| 用途 | Production |
| 批量面积 | up to 8 m² flat substrate total batch area |
| 最高温度 | 550°C |
| 主机尺寸 | 2593 × 1073 × 2265 mm |
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