原子层沉积系统Beneq型号 Beneq P400ABeneq P400A 批量 ALD 生产系统Beneq P400A 是 Beneq 官方 P Series 产品线中的批量热 ALD 生产系统,平面基板总批量面积最高 8 m²。型号P400A工艺类型Thermal ALD用途Production批量面积up to 8 m² flat substrate total batch area