Beneq P400A 批量 ALD 生产系统
Beneq P400A 是 Beneq 官方 P Series 产品线中的批量热 ALD 生产系统,平面基板总批量面积最高 8 m²。
- 型号
- P400A
- 工艺类型
- Thermal ALD
- 用途
- Production
- 批量面积
- up to 8 m² flat substrate total batch area
Beneq P400A 是 Beneq 官方 P Series 产品线中的批量热 ALD 生产系统,平面基板总批量面积最高 8 m²。
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