Beneq P800
Beneq P800 是 Beneq 官方 P Series 产品线中的热 ALD 系统，用于超过 600 mm 的大部件或大批量小部件处理。
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← 返回产品列表Beneq P800 面向大型部件和大批量小部件的 thermal ALD 处理。
参数列出最高工艺温度 550°C 和主机尺寸 3657 × 1455 × 2483 mm。
该系统属于 Beneq Advanced ALD 产品线下的独立当前产品页。
| 型号 | P800 |
|---|---|
| 工艺类型 | Thermal ALD |
| 适用对象 | >600 mm large parts or large batches of smaller parts |
| 最高温度 | 550°C |
| 主机尺寸 | 3657 × 1455 × 2483 mm |
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