Beneq P800 大批量/大部件 ALD 系统
Beneq P800 是 Beneq 官方 P Series 产品线中的热 ALD 系统,用于超过 600 mm 的大部件或大批量小部件处理。
- 型号
- P800
- 工艺类型
- Thermal ALD
- 适用对象
- >600 mm large parts or large batches of smaller parts
- 最高温度
- 550°C
Beneq P800 是 Beneq 官方 P Series 产品线中的热 ALD 系统,用于超过 600 mm 的大部件或大批量小部件处理。
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