Beneq TFS 200
Beneq TFS 200 是 Beneq 官方 TFS Series 产品线中的 ALD 研发平台，支持晶圆、平面样品、孔隙材料和复杂 3D 结构。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Beneq Beneq TFS 200 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。
← 返回产品列表Beneq TFS 200 适用于 academic and corporate R&D。
页面列出可处理 wafers、flat objects、porous samples 和 complex 3D structures。
官方信息说明其标准支持 direct 和 remote PEALD，PEALD 基板最高 200 mm。
| 型号 | TFS 200 |
|---|---|
| 用途 | Academic and corporate R&D |
| 样品类型 | wafers, flat objects, porous samples, complex 3D structures |
| PEALD | Direct and remote PEALD standard |
| PEALD 基板 | up to 200 mm |
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