Beneq TFS 200 ALD 研发平台
Beneq TFS 200 是 Beneq 官方 TFS Series 产品线中的 ALD 研发平台,支持晶圆、平面样品、孔隙材料和复杂 3D 结构。
- 型号
- TFS 200
- 用途
- Academic and corporate R&D
- 样品类型
- wafers, flat objects, porous samples, complex 3D structures
- PEALD
- Direct and remote PEALD standard
Beneq TFS 200 是 Beneq 官方 TFS Series 产品线中的 ALD 研发平台,支持晶圆、平面样品、孔隙材料和复杂 3D 结构。
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