Beneq TFS 500
Beneq TFS 500 是 Beneq 官方 TFS Series 产品线中的研发和批量处理 ALD 系统，支持晶圆、平面样品与 3D 结构。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Beneq Beneq TFS 500 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。
← 返回产品列表Beneq TFS 500 用于 R&D 和 batch processing。
页面列出可处理 wafers、flat objects 和 3D structures，并可配置 manual load lock、cassette loader 和 glove box。
官方信息说明其 PEALD 基板最高 300 mm。
| 型号 | TFS 500 |
|---|---|
| 用途 | R&D and batch processing |
| 样品类型 | wafers, flat objects, 3D structures |
| 可选配置 | manual load lock, cassette loader, glove box |
| PEALD 基板 | up to 300 mm |
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