Beneq TFS 500 ALD 研发及批量处理系统
Beneq TFS 500 是 Beneq 官方 TFS Series 产品线中的研发和批量处理 ALD 系统，支持晶圆、平面样品与 3D 结构。
- 型号
- TFS 500
- 用途
- R&D and batch processing
- 样品类型
- wafers, flat objects, 3D structures
Beneq TFS 500 是 Beneq 官方 TFS Series 产品线中的研发和批量处理 ALD 系统，支持晶圆、平面样品与 3D 结构。