Beneq TFS 500 ALD 研发及批量处理系统
Beneq TFS 500 是 Beneq 官方 TFS Series 产品线中的研发和批量处理 ALD 系统,支持晶圆、平面样品与 3D 结构。
- 型号
- TFS 500
- 用途
- R&D and batch processing
- 样品类型
- wafers, flat objects, 3D structures
- 可选配置
- manual load lock, cassette loader, glove box
材料表征、热分析、力学、粒度、表面和物性测试
天平、搅拌、摇床、清洗、灭菌、工作台和常规设备
半导体、电子测量、电源、电池、探针台与微纳加工
实验室工程、配套系统、家具、管路与辅助系统
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