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Beneq Transform ALD 簇式工具

Beneq Transform

Beneq Transform 是 Beneq 官方列出的 ALD cluster tool,面向功率电子、MEMS、RF、LED/光子和先进封装应用。

品牌: Beneq价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Beneq Beneq Transform,可提供产品参数、报价和售后服务咨询,价格面议。

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BeneqBeneq Transform产品资料

Beneq Transform 为灵活的 ALD cluster tool。

页面列出 thermal ALD 和 single wafer PEALD 能力,并说明最多可配置 3 个工艺模块。

该系统适用于 power electronics、MEMS、RF devices、LED/photonics 和 advanced packaging。

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