Beneq Transform
Beneq Transform 是 Beneq 官方列出的 ALD cluster tool，面向功率电子、MEMS、RF、LED/光子和先进封装应用。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Beneq Beneq Transform 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。
← 返回产品列表Beneq Transform 为灵活的 ALD cluster tool。
页面列出 thermal ALD 和 single wafer PEALD 能力，并说明最多可配置 3 个工艺模块。
该系统适用于 power electronics、MEMS、RF devices、LED/photonics 和 advanced packaging。
| 型号 | Transform |
|---|---|
| 工艺类型 | Thermal ALD, single wafer PEALD |
| 工艺模块 | up to 3 process modules |
| 合规 | SEMI S2/S8 |
| 应用 | Power electronics, MEMS, RF, LED/photonics, advanced packaging |
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