Beneq Transform ALD 簇式工具
Beneq Transform 是 Beneq 官方列出的 ALD cluster tool，面向功率电子、MEMS、RF、LED/光子和先进封装应用。
- 型号
- Transform
- 工艺类型
- Thermal ALD, single wafer PEALD
- 工艺模块
- up to 3 process modules
Beneq Transform 是 Beneq 官方列出的 ALD cluster tool，面向功率电子、MEMS、RF、LED/光子和先进封装应用。