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Beneq Transform 300 300mm ALD 簇式系统

Beneq Transform 300

Beneq Transform 300 是 Beneq 官方列出的 300 mm 晶圆生产 ALD 簇式系统,支持批量热 ALD 与单片等离子体 ALD。

品牌: Beneq价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Beneq Beneq Transform 300 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持,价格面议。

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BeneqBeneq Transform 300
说明规格FAQ

说明

Beneq Transform 300 用于 300 mm wafer production。

页面列出 thermal ALD batch 和 plasma ALD single wafer 能力,可配置最多 3 个工艺模块和 1 个预热模块。

参数还列出 300 mm / 200 mm bridge 与设备尺寸信息。

规格

型号Transform 300
晶圆规格300 mm wafer production
工艺类型Thermal ALD batch, plasma ALD single wafer
模块配置up to 3 process modules + 1 pre-heating module
桥接能力300 mm / 200 mm bridge
尺寸4400 × 4800 × 2250 mm

FAQ

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