Beneq Transform 300
Beneq Transform 300 是 Beneq 官方列出的 300 mm 晶圆生产 ALD 簇式系统,支持批量热 ALD 与单片等离子体 ALD。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Beneq Beneq Transform 300,可提供产品参数、报价和售后服务咨询,价格面议。
← 返回产品列表Beneq Transform 300 用于 300 mm wafer production。
页面列出 thermal ALD batch 和 plasma ALD single wafer 能力,可配置最多 3 个工艺模块和 1 个预热模块。
参数还列出 300 mm / 200 mm bridge 与设备尺寸信息。
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