Beneq Transform 300
Beneq Transform 300 是 Beneq 官方列出的 300 mm 晶圆生产 ALD 簇式系统,支持批量热 ALD 与单片等离子体 ALD。
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← 返回产品列表Beneq Transform 300 用于 300 mm wafer production。
页面列出 thermal ALD batch 和 plasma ALD single wafer 能力,可配置最多 3 个工艺模块和 1 个预热模块。
参数还列出 300 mm / 200 mm bridge 与设备尺寸信息。
| 型号 | Transform 300 |
|---|---|
| 晶圆规格 | 300 mm wafer production |
| 工艺类型 | Thermal ALD batch, plasma ALD single wafer |
| 模块配置 | up to 3 process modules + 1 pre-heating module |
| 桥接能力 | 300 mm / 200 mm bridge |
| 尺寸 | 4400 × 4800 × 2250 mm |
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