Beneq Transform 300 300mm ALD 簇式系统
Beneq Transform 300 是 Beneq 官方列出的 300 mm 晶圆生产 ALD 簇式系统,支持批量热 ALD 与单片等离子体 ALD。
- 型号
- Transform 300
- 晶圆规格
- 300 mm wafer production
Beneq Transform 300 是 Beneq 官方列出的 300 mm 晶圆生产 ALD 簇式系统,支持批量热 ALD 与单片等离子体 ALD。
材料表征、热分析、力学、粒度、表面和物性测试设备
按产品用途保留的其他专用仪器