Beneq Transform 300 300mm ALD 簇式系统
Beneq Transform 300 是 Beneq 官方列出的 300 mm 晶圆生产 ALD 簇式系统,支持批量热 ALD 与单片等离子体 ALD。
- 型号
- Transform 300
- 晶圆规格
- 300 mm wafer production
- 工艺类型
- Thermal ALD batch, plasma ALD single wafer
- 模块配置
- up to 3 process modules + 1 pre-heating module