Beneq Transform XP
Beneq Transform XP 产品资料将其定位为 advanced Power & RF devices 的下一代 ALD 平台。
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该平台采用 25-wafer mini-batch thermal ALD，并支持 PEALD、sub-10-second cycles 和 in-cycle annealing。
该系统属于 Beneq Transform 半导体 ALD 产品线下的独立当前产品页。
| 型号 | Transform XP |
|---|---|
| 工艺类型 | Thermal ALD, PEALD |
| 批量 | 25-wafer mini-batch |
| 循环时间 | sub-10-second cycles |
| 工艺能力 | in-cycle annealing |
| 应用 | advanced Power & RF devices |
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