Beneq Transform XP 原子层沉积平台
Beneq Transform XP 产品资料将其定位为 advanced Power & RF devices 的下一代 ALD 平台。
- 型号
- Transform XP
- 工艺类型
- Thermal ALD, PEALD
- 批量
- 25-wafer mini-batch
- 循环时间
- sub-10-second cycles
Beneq Transform XP 产品资料将其定位为 advanced Power & RF devices 的下一代 ALD 平台。
第 1 / 1 页 · 共 1 条