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JIB-PS500i 双束加工观察系统

JIB-PS500i

为原子级分辨率透射电镜观察而设计的用于制备各种高质量样品的FIB-SEM系统。JIB-PS500i提供三种协助TEM样品制备的解决方案,是最适用样品制备和分析的FIB-SEM系统

品牌: JEOL价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 JEOL JIB-PS500i,可提供产品参数、报价和售后服务咨询,价格面议。

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JIB-PS500i 双束加工观察系统

为原子级分辨率透射电镜观察而设计的用于制备各种高质量样品的FIB-SEM系统。

新型样品制备解决方案!

JIB-PS500i提供三种协助TEM样品制备的解决方案,是最适用样品制备和分析的FIB-SEM系统。

功能1. TEM-LINKAGE

双倾样品盒和TEM样品杆使TEM ⇔ FIB之间的连接更简单。样品盒可单触安装到专用的TEM样品杆上。

视频介绍: TEM-LINKAGE 双倾样品盒的样品传送

@ 双倾样品盒的样品传送流程

@ 样品室内机械手

采用Oxford Instruments 公司制造的的OmniProbe 400,可以实现精准快速的采样操作。JIB-PS500i的软件兼容OmniProbe 400的操作。

样品:5nm设计规则半导体器件 (FinFET)

观察条件:(左)加速电压2kV,检测器SED二次电子像,(中,右)加速电压200kV,TEM像,使用仪器:JEM-ARM200F

功能2. CHECK-AND-GO

为了准确有效地制备TEM样品,实地检查制样效果很重要。JIB-PS500i 能够从TEM制样无缝转移到STEM观察。薄片加工⇔STEM观察之间反复切换、可有效地制样。

样品: SiC功能半导体器件 观察条件:加速电压30 kV、检测器(左上)STEM-BF、(右上) STEM-DF、(左下) SED 二次电子像、(右下) EDS元素分布图 紫: Al 黄: Ti 橙: P 蓝: O 緑: Si

功能3. AUTOMATIC PREPARATION

通过自动TEM制样系统STEMPLING2,自动化制样。制备的样品质量不会因操作人员的技能而出现偏差。

样品:铜镀层 (上部) 自动制备样品块、(下部) 样品块自动被加工成薄片 观察条件:加速电压30 kV、检测器SED (SIM像)

样品块自动被加工成薄片 观察条件:加速电压

HIGH-RESOLUTION & HIGH-CONTRAST SEM Imaging

不再迷茫,不放过加工终点的高品质SEM图像

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