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Ionfab 300 IBE

Ionfab 300 IBE

Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器。离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。我们的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式

品牌: Oxford Instruments Plasma Technology价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Oxford Instruments Plasma Technology Ionfab 300 IBE,可提供产品参数、报价和售后服务咨询,价格面议。

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Ionfab 300 IBD

Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器

Ion Beam

离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。我们的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统配置与实际应用紧密协调,以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

能够与其它等离子体刻蚀和沉积设备相集成

单晶圆传送模式或集群式晶圆操作

更低的表面薄膜粗糙度

更佳的批次均匀性和工艺重复性

准确终点监测 —— SIMS,发射光谱

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