H-811.I2V 真空兼容小型六足位移台

行程：±17mm / ±16mm / ±6.5mm

旋转范围：±10° / ±10° / ±21°

最小位移：0.2µm / 0.2µm / 0.08µm

水平安装时H-811.I2V上的最大负载

垂直安装时H-811.I2V上的最大负载

以最不利角度安装时H-811.I2V上的最大负载

水平安装时作用于H-811.I2V的最大允许力

H-811.I2V, 尺寸单位为毫米，位于标称行程零位。请注意，在图中使用逗号代表小数点。

H-811占地面积小，其真空型号完美适配真空室内的安装需求。其高精度特性使H-811.I2V能以极高精度和效率执行对准流程。在此类应用中，它可显著提升复杂制造工艺和测量流程的效率。

该六足位移台采用并联运动结构，可在超紧凑设计下实现六自由度运动。得益于无刷直流电机和高刚性机械设计，即使在存在外部干扰时（如胶合工艺），H-811仍能满足主动对准应用所需的动态性能。丰富的软件工具通过简化系统调试流程，并提供外部模拟控制信号自动对准子程序，为用户提供支持。

六足位移台控制器发货时提供免费软件包，内含工件和刀具坐标系及仿真工具，这些工具有助于保护光学或光子器件等关键组件。

H-811.I2V标配电缆不是拖链兼容型电缆。

有关数据传输电缆外径的注意事项：数据传输连接由两根末端共用一个接头的电缆组成。标称直径为每根电缆的直径。

空气端连接电缆不包含在发货范围内，需单独订购。

在真空环境下持续运行时，由于发热可能需要限制运行参数。

测量定位的规格时，使用典型速度。数据以测量报告的形式包含在产品交付中，并存储在PI中。