六足位移台Physik Instrumente (PI)型号 H-811.I2VH-811.I2V 真空兼容小型六足位移台行程:±17mm / ±16mm / ±6.5mm。旋转范围:±10° / ±10° / ±21°。最小位移:0.2µm / 0.2µm / 0.08µm。水平安装时H-811.I2V上的最大负载型号H-811.I2V运动H-811.I2V 公差