PD-270STLC
低应力薄膜的高速(>300nm/min)沉积。PD-270STLC是一种低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)的等离子体增强CVD系统,可用于大规模生产
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Samco PD-270STLC 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持,价格面议。
← 返回产品列表
化学气相沉积
液体原料CVD
液体原料CVD设备 PD-270STLC
液体原料CVD设备 PD-270STLC低应力薄膜的高速(>300nm/min)沉积
PD-270STLC是一种低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)的等离子体增强CVD系统,可用于大规模生产。Samco独特的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源,以低应力沉积SiO2薄膜,从薄膜到极厚的薄膜(高达100 µm)。该系统通过采用大气盒装载和ø236毫米的托架实现了高产量,可安装三个ø4英寸的晶圆。
主要特点和优点
最大加工尺寸为ø236mm的托架(ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)。
阴极耦合自偏析沉积技术可以实现低应力薄膜的高速(>300nm/min)沉积。
通过低温沉积,可以在塑料表面上沉积薄膜。
高纵横比结构的优秀阶梯覆盖率
使用锗、磷、硼液源控制折射率。
优异的工艺均匀性和可重复性
塑料材料上保护膜的沉积
在3D LSI的通孔侧壁上沉积绝缘膜。
光波导的制造(光纤芯/包层)。
制造用于微型机械生产的面罩。
| 型号 | PD-270STLC |
|---|---|
| 产品类别 | plasma deposition etching and surface treatment equipment |
| 技术参数 | 液体原料CVD设备 PD-270STLC |
| 技术参数 | 液体原料CVD设备 PD-270STLC低应力薄膜的高速(>300nm/min)沉积 |
| 技术参数 | PD-270STLC是一种低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)的等离子体增强CVD系统,可用于大规模生产。Samco独特的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源,以低应力沉积SiO2薄膜,从薄膜到极厚的薄膜(高达100 µm)。该系统通过采用大气盒装载和ø236毫米的托架实现了高产量,可安装三个ø4英寸的晶圆。 |
| 技术参数 | 最大加工尺寸为ø236mm的托架(ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)。 |
| 技术参数 | 阴极耦合自偏析沉积技术可以实现低应力薄膜的高速(>300nm/min)沉积。 |
| 技术参数 | 在3D LSI的通孔侧壁上沉积绝缘膜。 |
请填写必填信息,我们将在工作日尽快回复。