RIE-1C
紧凑型台式设备。RIE-1C是用于半导体芯片故障分析的小型台式干式蚀刻系统。可以高效、低损伤地去除钝化膜。它操作简单,样品放置后只需按一下按钮就可以完成整个过程。可以放在桌面上,也可以选择专用支架。主要特点和优点。可处理的样品最大为ø4"。只需一键操作,就能完成设备的操作。设计紧凑,节省空间。半导体芯片的故障分析。去除各种类型的钝化膜
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紧凑型蚀刻机 RIE-1C
紧凑型蚀刻机 RIE-1C紧凑型台式设备
RIE-1C是用于半导体芯片故障分析的小型台式干式蚀刻系统。
可以高效、低损伤地去除钝化膜。它操作简单,样品放置后只需按一下按钮就可以完成整个过程。
可以放在桌面上,也可以选择专用支架。
主要特点和优点
可处理的样品最大为ø4"
只需一键操作,就能完成设备的操作
设计紧凑,节省空间
半导体芯片的故障分析
去除各种类型的钝化膜。
光阻剂灰化
各种硅薄膜的蚀刻
玻璃基板的表面处理等。
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